中圖儀器探針式臺(tái)階儀品牌NS系列具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要在材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控中，測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布。

一、產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測(cè)量功能

（1）臺(tái)階高度：能夠測(cè)量納米到330μm或1050μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

（2）粗糙度與波紋度：能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度，分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項(xiàng)參數(shù)。

（3）應(yīng)力測(cè)量：可測(cè)量多種材料的表面應(yīng)力。

2.測(cè)量模式與分析功能

（1）單區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點(diǎn)和掃描長(zhǎng)度，即可開始測(cè)量。

（2）多區(qū)域測(cè)量模式：完成Focus后，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，可根據(jù)橫向和縱向距離來(lái)陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項(xiàng)掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測(cè)量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動(dòng)測(cè)量。

（3）3D測(cè)量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個(gè)掃描面區(qū)域的設(shè)置，一鍵即可自動(dòng)完成整個(gè)掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。

（4）SPC統(tǒng)計(jì)分析：支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號(hào)中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機(jī)，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實(shí)時(shí)跟進(jìn)掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測(cè)針，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時(shí)，可現(xiàn)場(chǎng)快速更換掃描測(cè)針，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定，確保換針后的精度和重復(fù)性，減少維護(hù)煩惱。

二、核心應(yīng)用場(chǎng)景

（1）半導(dǎo)體制造：沉積/蝕刻薄膜厚度測(cè)量、CMP工藝平整度檢測(cè)、抗蝕劑臺(tái)階高度分析，助力芯片良率提升。

（2）光伏&顯示面板：太陽(yáng)能涂層膜厚檢測(cè)、AMOLED屏微結(jié)構(gòu)分析、觸控面板銅跡線測(cè)量，適配光伏組件與顯示器件生產(chǎn)需求。

（3）MEMS&微納材料：微型傳感器形貌表征、柔性電子薄膜厚度檢測(cè)，支撐微納器件研發(fā)與量產(chǎn)質(zhì)控。

（4）科研與高校：材料表面應(yīng)力分析、微加工工藝研發(fā)數(shù)據(jù)支撐，加速科研項(xiàng)目落地。

三、售后服務(wù)

1. 12個(gè)月質(zhì)保期內(nèi)“三包"服務(wù)；

2. 3小時(shí)遠(yuǎn)程響應(yīng)；

3. 72小時(shí)上門維修；

4. 質(zhì)保期外長(zhǎng)期技術(shù)支持。

中圖儀器探針式臺(tái)階儀品牌NS系列13μm量程下實(shí)現(xiàn)0.01埃分辨率，5?超高解析力，精準(zhǔn)捕捉幾納米至幾百微米的臺(tái)階形貌，為嚴(yán)苛檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)提供硬核數(shù)據(jù)支撐。如需了解產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)、申請(qǐng)樣品測(cè)試，或針對(duì)您的光刻工藝定制專屬檢測(cè)方案，歡迎隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級(jí)實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。